Технология тонких пленок (справочник)
Майссел Л., Глэнг Р.
Справочник по технологии тонких пленок — наиболее современное и фундаментальное издание, посвященное тонким пленкам твердых веществ, находящим широкое применение в микроэлектронике, оптике, магнитной технике, СВЧ и космической технике и др Справочник издается в двух томах.
В т. 1 справочника читатель найдет исчерпывающие справочные данные по различным методам получения тонких пленок (техника высокого вакуума, физический механизм распыления материалов под действием ионной бомбардировки, методы получения пленок путем ионного распыления); технологические разъемы, а также параметры необходимой аппаратуры.
Книга является универсальным справочным пособием для широкого круга инженеров и конструкторов
радиоэлектронной аппаратуры, разработчиков интегральных микросхем и радиоэлектронных элементов, научных работников, аспирантов и студентов, специализирующихся в области микроэлектроники, физики и технологии изготовления тонких пленок.
В т. 1 справочника читатель найдет исчерпывающие справочные данные по различным методам получения тонких пленок (техника высокого вакуума, физический механизм распыления материалов под действием ионной бомбардировки, методы получения пленок путем ионного распыления); технологические разъемы, а также параметры необходимой аппаратуры.
Книга является универсальным справочным пособием для широкого круга инженеров и конструкторов
радиоэлектронной аппаратуры, разработчиков интегральных микросхем и радиоэлектронных элементов, научных работников, аспирантов и студентов, специализирующихся в области микроэлектроники, физики и технологии изготовления тонких пленок.
Cilt:
1
Yıl:
1977
Yayımcı:
Советское радио
Dil:
russian
Sayfalar:
664
Dosya:
DJVU, 20.31 MB
IPFS:
,
russian, 1977